無塵等級數		微塵粒子測定粒徑最高容許量
		0.1 µm		0.2 µm		0.3 µm		0.5 µm		1 µm		5 µm
US F. S209E	ISO 14644-1	(m³)	(ft³)	(m³)	(ft³)	(m³)	(ft³)	(m³)	(ft³)	(m³)	(ft³)	(m³)	(ft³)
	ISO 1	10		2		0		0		0		0
	ISO 2	100		24		10		4		0		0
Class-1	ISO 3	1,000	35	237	8	102	3	35	1	8	0	0	0
Class-10	ISO 4	10,000	350	2,370	75	1,020	30	352	10	83	2	0	0
Class-100	ISO 5	100,000	3,500	23,700	750	10,200	300	3,520	100	832	24	29	0
Class-1K	ISO 6	1,000,000	35,000	237,000	7,500	102,000	3,000	35,200	1,000	8,320	236	293	7
Class-10K	ISO 7	*	*	*	*	*	*	352,000	10,000	83,200	2,360	2,930	70
Class-100K	ISO 8	*	*	*	*	*	*	3,520,000	100,000	832,000	23,600	29,300	700