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一、超大型積體電路製程中無塵室之潔淨度要求

二、生醫及食品用無菌室之潔淨度要求

超大型積體電路製程中無塵室之潔淨度要求

 
製程 \ 潔淨度
等級
備註
1
100
1,000
10,000
100,000
不同等級微塵粒徑
1：0.1μm
10：0.1μm
100：0.3μm
1,000：0.5μm
晶體成長
磊晶
薄膜沉積
氧化、擴散
離子植入
照像
蝕刻
金屬蒸(濺)鍍
晶片測試
半製品保存
裝配、包裝

生醫及食品用無菌室之潔淨度要求

 
產業
分類
製程 \ 潔淨度
等級
100
1,000
10,000
100,000
生
醫
技
術
製藥製程
注射液及其封瓶
     
血液、林嘉氏液、疫苗之保存
無菌手術室
 
一般手術室
恢復室、外科加護病房
    
內科加護病房
無菌病房
 
新生兒、早產兒室
無菌室
手術用器具保管
無菌動物實驗
細菌實驗
藥劑室
一般病房
診療室
食
品
、
釀
造
牛乳、酒、乳酸菌飲料
冷飲飲料的裝瓶及封蓋製程
乳製品、點心的包裝製程
切片火腿的製造
蘑菇種植
食品肉加工

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